Единая база ГОСТов РФ 80 000 документов бесплатно

Категории ОКС

Поиск ГОСТов по категориям Общероссийского Классификатора Стандартов

IT, электроника и бытовая техника
Добыча и переработка
Производство и строительство
Промышленность
Техника и оборудование
Общие положения
01.
Услуги, управление и социология
03.
Математика, естественные науки
07.
Здравоохранение
11.
Охрана окружающей среды
13.
Метрология и измерения. Физические явления.
17.
Испытания.
19.
Технология получения изображений.
37.
Точная механика. Ювелирное дело.
39.

Категории ОКС в развёрнутом виде

Классификатор ОКПД 2

поиск кода ОКПД 2 онлайн, все категории классификатора

Условные обозначения

Иконки файлов и свойства документа

: - иконка ГОСТа;

Типы файлов

: - документ представлен набором отсканированных изображений;
: - документ можно скачать одним PDF файлом, файл состоит из не распознанных отcканированных страниц;
: - документ можно скачать одним PDF файлом с распознанным текстом;
: - документ можно скачать одним PDF файлом, внутри файла работают ссылки на другие ГОСТ'ы, текст распознан

Статусы ГОСТов

: - документ действует в настоящий момент (статус ГОСТа - Действующий);
: - документ отменён (статус ГОСТа - Отменён);
: - документ заменён (статус ГОСТа - Заменён);
: - ГОСТ не действует на территории РФ;

ГОСТ Р 52250-2004

ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Категории ГОСТ Р 52250-2004 по ОКС:

Статус документа:: действует, введён в действие 01.01.2005

Название на английском языке:: Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications

Дата актуализации информации по стандарту:: 28.06.2023, в 12:22 (менее года назад)

Вид стандарта:: Стандарты на методы контроля

Дата начала действия ГОСТа:: 2005-01-01

Дата последнего издания документа:: 2004-07-02

Коды документа ГОСТ Р 52250-2004:

Код ОКП:: 249642

Код КГС:: Э10

Число страниц:: 31

Назначение ГОСТ Р 52250-2004:: Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Документ разработан орг-ей:: Госстандарт России

Ключевые слова документа:: испытания, приемка, разрешающая способность, резист, состав параметров, сохраняемость, чувствительность к излучению

Нормативные ссылки из текста ГОСТ Р 52250-2004:

Ссылки на ГОСТы:: ГОСТ Р 50766-95 ГОСТ 19433-88 ГОСТ 2.114-95 ГОСТ 13841-95 ГОСТ 14192-96 ГОСТ 33-2000 ГОСТ 17622-72 ГОСТ 12.1.005-88 ГОСТ 12.1.007-76 ГОСТ 12.1.014-84 ГОСТ 3885-73 ГОСТ 7376-89 ГОСТ 10028-81 ГОСТ 14870-77 ГОСТ 22001-87 ГОСТ 27025-86

Скачать ГОСТ Р 52250-2004 вы можете в следующих версиях:

11/12/2011 23:03

122

1.44 Мб

скачать ГОСТ Р 52250-2004