ГОСТ Р 8.640-2008
Скачать ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Категории ГОСТ Р 8.640-2008 по ОКС:- Статус документа:
- действует
- Назначение ГОСТ Р 8.640-2008:
- Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
- Поправки и изменения к ГОСТ Р 8.640-2008
- стандарт не имеет поправок
Доступные для скачивания версии ГОСТ Р 8.640-2008:
Тип файла:
Дата добавления:
Загрузок:
Размер:
Ссылка на скачивание:
Добавлен:
12/12/2011 02:03
Скачиваний:
69
Размер файла:
0.61 Мб
Ссылка для скачивания:
