ГОСТ Р 8.644-2008
ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
Категории ГОСТ Р 8.644-2008 по ОКС:- 17. Метрология и измерения. Физические явления.
- 17.40. Линейные и угловые измерения *включая геометрические характеристики (gps)
- 17.40.01 Линейные и угловые измерения в целом
- Статус документа:
- действует, введён в действие 01.06.2009
- Название на английском языке:
- State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration
- Дата актуализации информации по стандарту:
- 18.09.2019, в 13:25 (более года назад)
- Вид стандарта:
- Основополагающие стандарты
- Дата начала действия ГОСТа:
- 2009-06-01
- Дата последнего издания документа:
- 2010-03-26
Коды документа ГОСТ Р 8.644-2008:
- Код КГС:
- Т88
- Число страниц:
- 20
- Назначение ГОСТ Р 8.644-2008:
- Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер
- Ключевые слова документа:
- лазерный интерферометр, методика калибровки, рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп
Нормативные ссылки из текста ГОСТ Р 8.644-2008:
Скачать ГОСТ Р 8.644-2008 вы можете в следующих версиях:
В данный момент версии документа не доступны для скачивания. Приносим извинения за предоставленные неудобства.
Вы можете просмотреть версии ГОСТ Р 8.644-2008, доступные для скачивания, возможно документ есть там в PDF формате.