ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

Категории ГОСТ Р 8.644-2008 по ОКС:
Статус документа:
действует, введён в действие 01.06.2009
Название на английском языке:
State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration
Дата актуализации информации по стандарту:
18.09.2019, в 13:25 (более года назад)
Вид стандарта:
Основополагающие стандарты
Дата начала действия ГОСТа:
2009-06-01
Дата последнего издания документа:
2010-03-26
Коды документа ГОСТ Р 8.644-2008:
Код КГС:
Т88
Число страниц:
20
Назначение ГОСТ Р 8.644-2008:
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер
Ключевые слова документа:
лазерный интерферометр, методика калибровки, рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп
Нормативные ссылки из текста ГОСТ Р 8.644-2008:

Скачать ГОСТ Р 8.644-2008 вы можете в следующих версиях:

В данный момент версии документа не доступны для скачивания. Приносим извинения за предоставленные неудобства.

Вы можете просмотреть версии ГОСТ Р 8.644-2008, доступные для скачивания, возможно документ есть там в PDF формате.