Категории ОКС

Поиск ГОСТов по категориям Общероссийского Классификатора Стандартов
Категории ОКС в развёрнутом виде

Условные обозначения

Иконки файлов и свойства документа
- иконка ГОСТа;

Типы файлов

- документ представлен набором отсканированных изображений;
- документ можно скачать одним PDF файлом, файл состоит из не распознанных отcканированных страниц;
- документ можно скачать одним PDF файлом с распознанным текстом;
- документ можно скачать одним PDF файлом, внутри файла работают ссылки на другие ГОСТ'ы, текст распознан

Статусы ГОСТов

- документ действует в настоящий момент (статус ГОСТа - Действующий);
- документ отменён (статус ГОСТа - Отменён);
- документ заменён (статус ГОСТа - Заменён);
- ГОСТ не действует на территории РФ;

ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Категории ГОСТ Р 52250-2004 по ОКС:
Статус документа:
действует, введён в действие 01.01.2005
Название на английском языке:
Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Вид стандарта:
Стандарты на методы контроля
Дата начала действия ГОСТа:
2005-01-01
Дата последнего издания документа:
2004-07-02
Коды документа ГОСТ Р 52250-2004:
Код ОКП:
249642
Код КГС:
Э10
Число страниц:
31
Назначение ГОСТ Р 52250-2004:
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Документ разработан орг-ей:
Госстандарт России
Ключевые слова документа:
испытания, приемка, разрешающая способность, резист, состав параметров, сохраняемость, чувствительность к излучению

Скачать ГОСТ Р 52250-2004 вы можете в следующих версиях:

Дата добавленияв версии файла:
Загрузок:
Размер:
12/12/2011 03:03
75
1.44 Мб
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 1 страница 1
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 2 страница 2
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 3 страница 3
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 4 страница 4
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 5 страница 5
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 6 страница 6
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 7 страница 7
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 8 страница 8
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 9 страница 9
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 10 страница 10
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 11 страница 11
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 12 страница 12
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 13 страница 13
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 14 страница 14
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 15 страница 15
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 16 страница 16
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 17 страница 17
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 18 страница 18
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 19 страница 19
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 20 страница 20
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 21 страница 21
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 22 страница 22
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 23 страница 23
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 24 страница 24
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 25 страница 25
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 26 страница 26
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 27 страница 27
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 28 страница 28
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 29 страница 29
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 30 страница 30
  • ГОСТ Р 52250-2004, страница 31 страница 31