Категории ОКС

Поиск ГОСТов по категориям Общероссийского Классификатора Стандартов
Категории ОКС в развёрнутом виде

Условные обозначения

Иконки файлов и свойства документа
- иконка ГОСТа;

Типы файлов

- документ представлен набором отсканированных изображений;
- документ можно скачать одним PDF файлом, файл состоит из не распознанных отcканированных страниц;
- документ можно скачать одним PDF файлом с распознанным текстом;
- документ можно скачать одним PDF файлом, внутри файла работают ссылки на другие ГОСТ'ы, текст распознан

Статусы ГОСТов

- документ действует в настоящий момент (статус ГОСТа - Действующий);
- документ отменён (статус ГОСТа - Отменён);
- документ заменён (статус ГОСТа - Заменён);
- ГОСТ не действует на территории РФ;

ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Категории ГОСТ 25196-82 по ОКС:
Статус документа:
действует, введён в действие 01.07.1983
Название на английском языке:
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата актуализации информации по стандарту:
28.06.2023, в 12:22 (менее года назад)
Вид стандарта:
Стандарты на продукцию (услуги)
Дата начала действия ГОСТа:
1983-07-01
Дата последнего издания документа:
1982-05-04
Коды документа ГОСТ 25196-82:
Код ОКП:
627335
Код КГС:
Э71
Код ОКСТУ:
6273
Число страниц:
3
Назначение ГОСТ 25196-82:
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
ГРНТИ индекс(ы):
4713
Ключевые слова документа:
оборудование вакуумное, установки для ионной имплантации
Нормативные ссылки из текста ГОСТ 25196-82:

Скачать ГОСТ 25196-82 вы можете в следующих версиях:

Дата добавленияв версии файла:
Загрузок:
Размер:
11/12/2011 23:01
268
0.26 Мб
11/12/2011 22:57
306
0.11 Мб
  • ГОСТ 25196-82, страница 1 страница 1
  • ГОСТ 25196-82, страница 2 страница 2
  • ГОСТ 25196-82, страница 3 страница 3