Статус ГОСТ 25196-82 на 2025 год
Актуальный статус ГОСТ 25196-82 – действует стандарт или нет?
ГОСТ 25196-82 «Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования» действует в России и странах ЕАЭС (Армения, Кыргызстан, Таджикистан) и является актуальным в текущем 2025 году.
- Статус документа на 2025 год:
- действует, введён в действие 01.07.1983
- Наименование стандарта:
- Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
- Дата актуализации информации по стандарту:
- 14.09.2019, в 17:54 (более года назад)
- Назначение ГОСТ 25196-82:
- Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
- Поправки и изменения к ГОСТ 25196-82
- стандарт не имеет поправок
- Дата начала действия ГОСТа:
- 1983-07-01
